SOI¶õ?
SOI(Silicon On Insulator) ¿þÀÌÆÛ(Wafer)´Â Â÷¼¼´ë ¹ÝµµÃ¼ °³¹ßÀÇ ¹ÙÅÁÀÌ µÇ´Â ±â¹Ý±â¼ú!
±â¼ú°³ÇõÀÇ ½ºÇǵ尡 ºü¸¥ LSI´Â Æò»ó½Ãº¸´Ù Àú¼Òºñ Àü·ÂÈ°¡ ±â´ëµÇ°í ÀÖ½À´Ï´Ù. ±×Áß¿¡¼ Â÷¼¼´ë ¹ÝµµÃ¼±â¼úÀÇ Çϳª·Î½á ÁÖ¸ñ¹Þ°í ÀÖ´Â °ÍÀÌ SOI±â¼úÀÔ´Ï´Ù. Áö±Ý±îÁöÀÇ ¹ÝµµÃ¼ µð¹ÙÀ̽º(Device)´Â µÎ²²°¡ ¼ö¹é§ÀÇ ½Ç¸®ÄÜ¿þÀÌÆÛ(Silicon Wafer)·Î Á¦Á¶µÇ¾îÁö°í ÀÖ½À´Ï´Ù¸¸, ¹ÝµµÃ¼ µð¹ÙÀ̽º(Device)·Î½á »ç¿ëµÇ¾îÁö°í Àִ°ÍÀº Ç¥¸é¿¡¼ ¼ö¹é§ÀÌÇÏÀÇ ¿µ¿ªÀÔ´Ï´Ù.
³ª¸ÓÁöÀÇ ¿µ¿ªÀº ¹ÝµµÃ¼ µð¹ÙÀ̽º(Device)¸¦ ÁöÁöÇÑ´Â ÁöÆÇÀ¸·Î¼ »ç¿ëµÇ¾îÁö°í ÀÖ½À´Ï´Ù¸¸, ÀÌ ±â¹ÝÀÇ ¿µ¿ª¶§¹®¿¡ ¿©ºÐÀÇ Àü·ÂÀÌ »ç¿ë µÇ¾îÁö°í ´õ¿íÀÌ ¹ÝµµÃ¼ µð¹ÙÀ̽º(Device)ÀÇ ½ºÇǵ带 ¶³¾î¶ß¸®´Â ¿äÀÎÀÌ µË´Ï´Ù
SOI ¿þÀÌÆÛ(Wafer)´Â?
¹ÝµµÃ¼ µð¹ÙÀ̽º(Device)·Î¼ »ç¿ëµÇ¾îÁö°í Àִ ǥ¸é¿¡¼ ¼ö¹é§ÀÌÇÏÀÇ ¿µ¿ªÀÇ ½Ç¸®ÄÜ ´Ü°áÁ¤Ãþ(Ӥ̿ïÝöµ)À» Àý¿¬Ãþ(ï¾æÞöµ)ÀÇ À§¿¡ Çü¼ºÇÏ¿© ÀÌ Àý¿¬Ãþ(ï¾æÞöµ)¿¡ ÀÇÇØ ÁöÁö±â¹Ù´É·Î ºÎÅÍÀÇ ¿µÇâÀ» ºÐ¸®ÇÕ´Ï´Ù±×·³À¸·Î ÀÎÇØ SOI ¿þÀÌÆÛ(Wafer)´Â °í¼ÓÈÀÇ Àú¼ÒºñÀü·ÂÈ ¸ðµÎ¸¦ ½ÇÇö ½Ãų ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù.
SOI ÀÀ¿ëÀÇ ÀåÁ¡(Merit)Àº?
SOI µð¹ÙÀ̽º(Device)´Â ³»¿¼º(Ò±æðàõ)ÀÌ ¶Ù¾î³ª¸ç ¿ìÁÖ¼±(éÔñµàË)À̳ª ¹æ»çÀü(Û¯ÞÒàË)¿¡µµ °Çϱ⠶§¹®¿¡, ºñ±³Àû ¿À·¡ÀüºÎÅÍ Ç×°ø¿ìÁÖÀÇ ºÐ¾ß¿¡ À־ ½Ç¿ëȵǾîÁ® ¿Ô½À´Ï´Ù. ±×¸®°í ¹Ì¼¼È(Ú°á¬ûù)¿¡ ÀÇÇÑ LSIÀÇ ¼º´ÉÇâ»óÀÌ ÇÑ°è¿¡ ´Ù´ÞÇÑ Áö±Ý¿¡ ¿Í¼, SOI´Â ±× ÇѰ踦 ÇÑ´Ü°è ²ø¾î ¿Ã·ÁÁÖ´Â ±â¼ú·Î¼, µ¿(ÔÞ:Cu)¹è¼±, Low-KÀý¿¬¸·(ï¾æÞد) Àç·á¿Í ÇÔ²² ÁÖ¸ñ µÇ¾îÁö°í ÀÖ´Â ±â¼úÀÔ´Ï´Ù.
SOI ¿þÀÌÆÛ(Wafer)¸¦ »ç¿ëÇÏ¿© Á¦Á¶ÇÑ ¹ÝµµÃ¼ µð¹ÙÀ̽º(Device)´Â?
Áö±Ý±îÁöÀÇ ½Ç¸®ÄÜ ¿þÀÌÆÛ(Silicon Wafer)¸¦ »ç¿ëÇÏ¿´À»¶§¿Í ºñ±³ÇÏ¿©, °í¼ÓÈ¿Í °íÁøÀûȸ¦ ½ÇÇöÇÏ¸é¼ ´õ¿íÀÌ ¼ÒºñÀü·ÂÀ»ÁÙÀ̴µ¥ ±â´ëµÇ¾î Áö°í ÀÖ½À´Ï´Ù. ¸ÕÀú, °í¼ÓÈ¿¡ÀÇ ¿ä±¸°¡ ´ë´ÜÈ÷ Å«, MPUÀÇ °³¹ß ¹× »óÇ°ÈÀÇ ¿òÁ÷ÀÓÀÌ ½ÃÀ۵ǾîÁö°í ÀÖ½À´Ï´Ù. ´ÙÀ½À¸·Î¼, ²ÙÁØÈ÷ °í¼ÓÈ¿Í Àú¼ÒºñÀü·Âȸ¦ ÇÏÁö ¾ÊÀ¸¸é ¾ÈµÇ´Â ÈÞ´ëÀüÈ µîÀÇ Åë½Å¿ëIC ¹× ³ëÆ®ºÏ ÄÄÇ»ÅÍ(NoteBook PC), ÈÞ´ëÇü´Ü¸» µî¿¡ »ç¿ëµÇ¾îÁö´Â ¹ÝµµÃ¼ µð¹ÙÀ̽º(Device)ÀÇ Á¦Á¶¿¡ SOI ¿þÀÌÆÛ(Wafer)°¡ »ç¿ëµÇ¾î Áú °ÍÀ¸·Î »ý°¢µÇ¾î Áý´Ï´Ù. ¶ÇÇÑ MEMS(Micro Electro Mechanical System)¿Í °°Àº ÀÚüÀÇ ±¸Á¶ÀûÀΠƯ¡À» ÀÌ¿ëÇÑ µð¹ÙÀ̽º(Device)¿¡ÀÇ ÀÀ¿ëµµ »ý°¢µÇ¾î Áý´Ï´Ù. ÀÌ·±ÇÑ SOI°¡ °¡Áö°í Àִ Ư¡º°·Î »ç¿ë¿ëµµÀÇ ¿¹¸¦ Á¦¾ÈÇÏ¿© ³õ¾Ò½À´Ï´Ù. µð¹ÙÀ̽º(Device)·Î SOI ¿þÀÌÆÛ(Wafer)ÀÇ ¸·Ãþ(دöµ)ÀÇ ±¸¼º¿¡ ´ëÇؼ ÀϷʸ¦ µé¾ú½À´Ï´Ù.
|